照明学会 出版物
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JIER-066 |
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| 短波長紫外線の測定法に関する研究調査委員会報告書 | |||
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| 目次 | |||
| 1. | はじめに | ||
| 2. | 短波長紫外放射域の標準供給の現状 | ||
| 2.1 | 電総研における検出器校正 | ||
| 2.1.1. | はじめに | ||
| 2.1.2 | 希ガス電離箱に基づく真空紫外検出器校正 | ||
| 2.1.3 | 電力置換型絶対放射計に基づく検出器校正 | ||
| 2.1.4 | まとめ | ||
| 2.2 | 電総研における放射源校正 | ||
| 2.2.1 | はじめに | ||
| 2.2.2 | 物理量の校正 | ||
| 2.2.3 | シンクロトロン放射の性質 | ||
| 2.2.4 | 重水素ランプ | ||
| 2.2.5 | ビームラインの概要、光源校正の方法 | ||
| 2.2.6 | シンクロトロン放射の放射束の絶対値、不確かさ | ||
| 2.2.7 | ビームライン光学系の偏光特性、光源校正 | ||
| 2.2.8 | おわりに | ||
| 2.3 | 日電検における分光放射照度標準のトレーサビリティ | ||
| 2.3.1 | 計量法トレーサビリティ制度について | ||
| 2.3.2 | 分光放射照度標準のトレーサビリティ | ||
| 2.3.3 | 電子技術総合研究所における分光放射照度標準の確立 | ||
| 2.3.4 | 日本電気計器検定所における分光放射照度標準の供給 | ||
| 2.4 | NISTにおける短波長標準の供給および研究 | ||
| 2.4.1 | 概要 | ||
| 2.4.2 | 放射源の標準 | ||
| 2.4.3 | 検出器の標準 | ||
| 3. | 企業における短波長紫外放射測定の現状 | ||
| 3.1 | 誘電体バリア放電を利用したXe2*エキシマランプの光出力の測定 | ||
| 3.1.1 | 誘電体バリア放電励起Xe2*エキシマランプ | ||
| 3.1.2 | 測定方法 | ||
| 3.1.3 | 測定結果 | ||
| 3.2 | UV領域における検出器の校正 | ||
| 3.2.1 | はじめに | ||
| 3.2.2 | 光源の出力から検出器の感度を校正する場合 | ||
| 3.3 | UV-135真空紫外照度計 | ||
| 3.3.1 | はじめに | ||
| 3.3.2 | UV-185の特長 | ||
| 3.3.3 | 用途 | ||
| 3.3.4 | UV-185真空紫外線照度計概要 | ||
| 3.3.5 | UV-185真空紫外線照度計仕様 | ||
| 3.4 | 日立製作所の紫外線ランプ | ||
| 3.4.1 | 重水素ランプ(885-3570) | ||
| 3.4.2 | メタルハライドランプ(050-0280) | ||
| 3.5 | ニッポ電機の紫外線ランプとその測定方法 | ||
| 3.5.1 | まえがき | ||
| 3.5.2 | 紫外線ランプ | ||
| 3.5.3 | 紫外線ランプの測定方法 | ||
| 3.6 | 岩崎電気の紫外線ランプとその測定方法 | ||
| 3.6.1 | 紫外線ランプ | ||
| 3.6.2 | 紫外放射域の測定 | ||
| 3.7 | 短波長紫外線の測定について | ||
| 3.7.1 | はじめに | ||
| 3.7.2 | 紫外線測定例 | ||
| 3.7.3 | 測光上の問題点 | ||
| 3.8 | 紫外から真空紫外光検出用光センサとパワーメータへの応用 | ||
| 3.8.1 | 序 | ||
| 3.8.2 | 光センサ | ||
| 3.8.3 | パワーメータへの応用 | ||
| 3.8.4 | あとがき | ||
| 3.9 | 低圧水銀ランプを使用した紫外線照射装置の現場報告 | ||
| 3.9.1 | はじめに | ||
| 3.9.2 | 185nm放射の応用市場 | ||
| 3.9.3 | 254nm 放射185nm放射の測光 | ||
| 3.9.4 | おわりに | ||
| 3.10 | エキシマレーザーの光出力の測定 | ||
| 3.10.1 | エキシマレーザの出射光の特徴 | ||
| 3.10.2 | 測定方法および測定機器 | ||
| 3.10.3 | 測定器の較正 | ||
| 3.10.4 | 結果と問題点のまとめ | ||
| 3.11 | 低圧水銀ランプの応用と課題 | ||
| 3.11.1 | UV/O3プロセスの特徴 | ||
| 3.11.2 | UV/O3プロセスの応用例 | ||
| 3.11.3 | 課題 | ||
| 3.11.4 | おわりに | ||
| 3.12 | エキシマランプの実用状況と放射測定の実際 | ||
| 3.12.1 | エキシマランプの構造 | ||
| 3.12.2 | エキシマランプを搭載した平面光源 | ||
| 3.12.3 | エキシマランプの用途紹介 | ||
| 3.12.4 | 真空紫外エキシマ放射の測定 | ||
| 4. | 埼玉大学における紫外・真空紫外放射測定 | ||
| 4.1 | 概要 | ||
| 4.2 | 大気中での短波長紫外放射測定 | ||
| 4.2.1 | 波長190~800nmでの放射検出器の分光応答度測定 | ||
| 4.2.2 | 波長190~400nmでの放射源の分光放射照度測定 | ||
| 4.2.3 | 低圧水銀放電253.7nm放射の測定 | ||
| 4.3 | 窒素雰囲気、真空中での紫外放射測定 | ||
| 4.3.1 | 測定環境の設定 | ||
| 4.3.2 | 波長160~250nmでの受光器の分光応答度の測定 | ||
| 4.3.3 | 波長160~250nmでの放射源の分光放射照度の測定 | ||
| 4.3.4 | 低圧水銀放電185nm放射の測定 | ||
| 4.4 | 真空紫外域での大気と窒素の吸収 | ||
| 5. | 低圧水銀スペクトル線185.0nmおよび253.7nmの放射束の相互比較 | ||
| 5.1 | はじめに | ||
| 5.2 | 放射源と測定系 | ||
| 5.3 | 比較測定結果 | ||
| 5.4 | 考察とまとめ | ||
| 6. | おわりに | ||
| 発行：平成12年3月 | |||