照明学会 出版物

JIER-066 

短波長紫外線の測定法に関する研究調査委員会報告書
目次
1.     はじめに
2.     短波長紫外放射域の標準供給の現状
  2.1 電総研における検出器校正
  2.1.1. はじめに
    2.1.2 希ガス電離箱に基づく真空紫外検出器校正
    2.1.3 電力置換型絶対放射計に基づく検出器校正
    2.1.4 まとめ
  2.2 電総研における放射源校正
    2.2.1 はじめに
    2.2.2 物理量の校正
    2.2.3 シンクロトロン放射の性質
    2.2.4 重水素ランプ
    2.2.5 ビームラインの概要、光源校正の方法
    2.2.6 シンクロトロン放射の放射束の絶対値、不確かさ
    2.2.7 ビームライン光学系の偏光特性、光源校正
    2.2.8 おわりに
  2.3 日電検における分光放射照度標準のトレーサビリティ
    2.3.1 計量法トレーサビリティ制度について
    2.3.2 分光放射照度標準のトレーサビリティ
    2.3.3 電子技術総合研究所における分光放射照度標準の確立
    2.3.4 日本電気計器検定所における分光放射照度標準の供給
  2.4 NISTにおける短波長標準の供給および研究
    2.4.1 概要
    2.4.2 放射源の標準
    2.4.3 検出器の標準
3. 企業における短波長紫外放射測定の現状
  3.1 誘電体バリア放電を利用したXe2*エキシマランプの光出力の測定
    3.1.1 誘電体バリア放電励起Xe2*エキシマランプ
    3.1.2 測定方法
    3.1.3 測定結果
  3.2 UV領域における検出器の校正
    3.2.1 はじめに
    3.2.2 光源の出力から検出器の感度を校正する場合
  3.3 UV-135真空紫外照度計
    3.3.1 はじめに
    3.3.2 UV-185の特長
    3.3.3 用途
    3.3.4 UV-185真空紫外線照度計概要
    3.3.5 UV-185真空紫外線照度計仕様
  3.4 日立製作所の紫外線ランプ
    3.4.1 重水素ランプ(885-3570)
    3.4.2 メタルハライドランプ(050-0280)
  3.5 ニッポ電機の紫外線ランプとその測定方法
    3.5.1 まえがき
    3.5.2 紫外線ランプ
    3.5.3 紫外線ランプの測定方法
  3.6 岩崎電気の紫外線ランプとその測定方法
    3.6.1 紫外線ランプ
    3.6.2 紫外放射域の測定
  3.7 短波長紫外線の測定について
    3.7.1 はじめに
    3.7.2 紫外線測定例
    3.7.3 測光上の問題点
  3.8 紫外から真空紫外光検出用光センサとパワーメータへの応用
    3.8.1
    3.8.2 光センサ
    3.8.3 パワーメータへの応用
    3.8.4 あとがき
       
  3.9 低圧水銀ランプを使用した紫外線照射装置の現場報告
    3.9.1 はじめに
    3.9.2 185nm放射の応用市場
    3.9.3 254nm 放射185nm放射の測光
    3.9.4 おわりに
  3.10 エキシマレーザーの光出力の測定
    3.10.1 エキシマレーザの出射光の特徴
    3.10.2 測定方法および測定機器
    3.10.3 測定器の較正
    3.10.4 結果と問題点のまとめ
  3.11 低圧水銀ランプの応用と課題
    3.11.1 UV/O3プロセスの特徴
    3.11.2 UV/O3プロセスの応用例
    3.11.3 課題
    3.11.4 おわりに
  3.12 エキシマランプの実用状況と放射測定の実際
    3.12.1 エキシマランプの構造
    3.12.2 エキシマランプを搭載した平面光源
    3.12.3 エキシマランプの用途紹介
    3.12.4 真空紫外エキシマ放射の測定
4. 埼玉大学における紫外・真空紫外放射測定
  4.1 概要
  4.2 大気中での短波長紫外放射測定
    4.2.1 波長190~800nmでの放射検出器の分光応答度測定
    4.2.2 波長190~400nmでの放射源の分光放射照度測定
    4.2.3 低圧水銀放電253.7nm放射の測定
  4.3 窒素雰囲気、真空中での紫外放射測定
    4.3.1 測定環境の設定
    4.3.2 波長160~250nmでの受光器の分光応答度の測定
    4.3.3 波長160~250nmでの放射源の分光放射照度の測定
    4.3.4 低圧水銀放電185nm放射の測定
  4.4 真空紫外域での大気と窒素の吸収
5. 低圧水銀スペクトル線185.0nmおよび253.7nmの放射束の相互比較
  5.1 はじめに
  5.2 放射源と測定系
  5.3 比較測定結果
  5.4 考察とまとめ
6. おわりに
発行:平成12年3月

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